洁净实验室洁净工程所指一定区域范围内,将空气中尘粒、有危害气体、病菌等污染物质清除,并把室温、洁净度等级、工作压力、气旋速度气流分布、噪声震动及灯光、静电感应操纵在某一要求范围之内工程学科。净化车间工程所尤其设计方案房间,无论外在美气体标准怎么变,房间内均具备保持原来所设置规定之洁净度等级、温度湿度及工作压力等特性。
洁净实验室里的温湿度控制:
洁净实验室的温度湿度通常是依据工艺标准来决定,但达到工艺标准条件下,应注意到人舒适感感。伴随着空气洁净度规定的提升,出现加工工艺对温度湿度的需求也越来越严格的态势。
实际加工工艺对环境温度的需求之后还要例举,但是作为总的基本原则看,考虑到尺寸精度愈来愈细致,因此对温度变化范畴的需求愈来愈小。比如在规模性集成电路芯片制造的光刻技术曝出加工工艺中,做为掩膜板原材料玻璃与硅片的线膨胀系数的差规定愈来愈小。孔径100um的单晶硅片,温度升高1度,就导致了0.24um线性澎涨,因此需有±0.1多度控温,并要求环境湿度值一般比较低,由于人出汗之后,对产品质量即将迎来环境污染,尤其是怕钠的半导体材料生产车间,这类生产车间不适合超出25度。
湿度太高所产生的难题大量。空气湿度超出55%时,冷却管内壁会冷凝水,如果出现在高精密设备或电路板上,就会引发各种各样安全事故。空气湿度在50%易锈蚀。除此之外,湿度过高时把根据空气中水分把单晶硅片表层黏着的尘土化学吸附在表面上耐无法消除。空气湿度越大,黏附的难除掉,但是当空气湿度少于30%时,又因静电感应力作用使颗粒也很容易吸咐于表层,与此同时很多半导体元器件很容易发生穿透。